德鲁克Druck 8000/8100/8200/8300系列沟槽刻蚀谐振式压力传感器
描述
8000系列压力传感器采用Terps（沟槽蚀刻谐振压力传感器）技术，设计用于连续测量压力并将其转换为电
子输出。
RPS8###型号产生频率和二极管电压输出。DPS8###型号包括一个微处理器，用于产生串行数字输出。
传感器采用模块化设计，其参数由客户在订购时选择。
技术规格
传感器分为两组:
a. TERPS8#00压力传感器
传感器的型号格式为“#PS8###-T#-A#-C#-##-##”。
有关传感器型号的技术规格和说明，请参阅相应的8000、8100、8200或8300数据表。
附加四位或八位字母数字字符串的型号表示使用客户特定的规范图纸，表明使用了数据表规范的补
充或偏差。如适用，请参考规格图。
b. RPS8100微芯压力传感器
传感器的型号为“ RPS8100-###B ”。
传感器的型号附加了一个四位或八位字母数字字符串，表示相应的产品规格图纸编号。产品规格见图纸。
设计和工作原理
Terps8###型号
传感器由压力连接器、压力测量模块、部分封装的电子模块和电气连接设施组成，在结构上组合在圆柱形金
属外壳中。
压力连接器允许将传感器安装到加压容器或管道系统上
压力测量模块由焊接金属结构组成，具有金属膜片1（为苛刻的工艺介质提供柔性屏障）、玻璃-金
属密封（用于电气连接）和包含硅基微加工谐振结构的流体填充腔。
电子模块有两种主要类型:
a. 当谐振结构响应于所施加的压力时，DPS变体提供从谐振结构的测量频率导出的数字编码信号。
提供多种数字编码和物理接口选项。
b. RPS变体提供频率等于谐振结构的频率的方波输出，因为它响应于所施加的压力。附加输出
（从二极管的正向电压获得）提供响应于温度变化的电压。
RPS8100 MiniCore型号
RPS8100 MiniCore压力传感器设计用于测量非冷凝干燥气体的压力。
该传感器由压力连接器、硅基微加工谐振结构（直接暴露于被测气体）、电子模块（未封装）和电
气连接设施组成，在结构上结合在圆柱形金属外壳中。
压力连接器允许将传感器安装到加压容器或管道系统上。
电子模块安装在隔间中，通过玻璃-金属密封与外部大气隔开。
低压电气端子暴露在隔间的后部，并焊接到一小段电缆上，用于连接到主机设备。
当传感器响应于所施加的压力时，传感器提供频率等于谐振结构的频率的方波输出。附加输出（从
二极管的正向电压获得）提供响应于温度变化的电压。
压力传感器旨在集成在原始设备制造商的主机产品中，对此可能适用其他技术法规和标准。